Author Affiliations +
Alexandra Krawicz,1 Katie Lutker-Lee,1 Sophie Thibaut,1 Eric Liu,1 Danilo De Simone,2 Arnaud Dauendorffer,3 Yannick Feurprier,4 Kathleen Nafus,4 Philippe Bézard,2 Philippe Foubert,2 Noriaki Oikawa3
1TEL Technology Ctr., America, LLC (United States)
2imec (Belgium)
3Tokyo Electron Ltd. (Japan)
4Tokyo Electron Europe Ltd. (Belgium)