Author Affiliations +
Oleg Petrak,1 Fabian Schwarz,1 Leon Pohl,1 Marcel Reher,1 Christian Janicke,1 Jan Przytarski,1 Frank Senger,2 Jörg Albers,2 Thorsten Giese,2 Lars Ratzmann,2 Peter Blicharski,1 Stephan Marauska,1 Thomas von Wantoch,1 Ulrich Hofmann1
1OQmented GmbH (Germany)
2Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT (Germany)